Vakuumbeschichtung (English, Gerard Kienel | Klaus Röll)
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Book Details
Publisher
Springer
Language
English
ISBN-13
9783642633980
ISBN-10
3642633986
Author
Gerard Kienel | Klaus Röll
About the Book
Schwerpunkte in Band 2 bilden das Aufdampfen im Hochvakuum, das Ionenplattieren, die Kathodenzerstäubung, teilchengestützte Verfahren, die Erzeugung von Mikrostrukturen, Plasmabehandlungsverfahren und die Abscheidung aus der Gasphase (CVD).
ISBN: 9783642633980
ISBN-13: 9783642633980
ISBN-10: 3642633986
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Product ID: isbn-9783642633980
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